高解析掃描電子顯微鏡
（Ultrahigh Resolution Scanning Electron Microscope）

　 本儀器是日本 Hitachi S4100 改良型場放射型掃描式電子顯微鏡，並附設 

EDS 系統及 Faraday Cap （美國製 NORAN VOYAGER 2.0）及真空蒸鍍設備。

一、金相觀察及照相：

( 1) SEI （Scanning Electron Image）：
生物、金屬、陶瓷、薄膜等材料之顯微鏡影像及破斷面、金相表面觀察。
( 2) BEI （Backscattered Electron Image）：
TOPO （Topography）：凹凸表面形貌觀察。
COMPO （Composition）：成分元素鑑別及分析。

二、 能量分散式光譜儀：微區顯微結構之定性及半定量分析。

三、 在有標準試片下，可做全定量。

(1)試件取樣直徑最大不超過40㎜（最好在10㎜以內為宜），最大高度10㎜，試件請自行前處理。

(2)如為非金屬、高分子、粉體試件，請務必作固定及蒸鍍處理。若欲影像觀察，請先鍍金  （Au / Pt）；若需定性、半定量分析，則選擇碳鍍膜。

(3)試件需不含水分、強磁性、揮發性物質。

(4)本儀器拒絕受理含有毒性、腐蝕性、揮發性及低熔點等之試件。

(1) SEM 拍照底片每捲700元。

(2)操作每一單元三小時，收燈絲維護費3000元。

(3) EDS 元素分析每次收費200元。

(4)真空蒸鍍金膜一次收費400元。

(5)真空蒸鍍碳膜一件收費400元。

(1)首次欲使用本儀器,請於預約前先與技術人員接洽.

(2)已完成預約之使用者,請於使用當日的二~三天前先
　　　 行查詢儀器狀況.
(3)已完成預約,若欲取消,請於使用日的五天前上網取
　　　 消,否則使用費需計.

申請表格

儀設大樓2F 0208室