高解析掃描電子顯微鏡
(Ultrahigh Resolution Scanning Electron Microscope)


  
顯微電鏡是一種觀察表面微觀世界的全能分析顯微鏡,隨著科學技術的進步,其類型和用途也不斷更新與發展。本儀器為日本 Hitachi S4100 改良型場發射掃描式電子顯微鏡,利用加負壓於金屬尖端上,以強電場將電子吸出尖端而形成很微小的電子束,在極高的真空中操作(~10-10 torr)可得到高品質分辨率的影像。
        本儀器並配置能量分散式光譜儀(Energy Dispersive Spectrometer 簡稱 EDS)及 Faraday Cap 可作元素(Boron 以上)之定性及半定量分析,並提供了真空鍍膜(鍍金極鍍碳)設備服務。



  本儀器是日本 Hitachi S4100 改良型場放射型掃描式電子顯微鏡,並附設 
EDS 系統及 Faraday Cap (美國製 NORAN VOYAGER 2.0)及真空蒸鍍設備。

一、金相觀察及照相:
( 1) SEI (Scanning Electron Image):
生物、金屬、陶瓷、薄膜等材料之顯微鏡影像及破斷面、金相表面觀察。
( 2) BEI (Backscattered Electron Image):
TOPO (Topography):凹凸表面形貌觀察。
COMPO (Composition):成分元素鑑別及分析。

二、 能量分散式光譜儀:微區顯微結構之定性及半定量分析。

三、 在有標準試片下,可做全定量。


(1)試件取樣直徑最大不超過40㎜(最好在10㎜以內為宜),最大高度10㎜,試件請自行前處理。

(2)如為非金屬、高分子、粉體試件,請務必作固定及蒸鍍處理。若欲影像觀察,請先鍍金  (Au / Pt);若需定性、半定量分析,則選擇碳鍍膜。

(3)試件需不含水分、強磁性、揮發性物質。

(4)本儀器拒絕受理含有毒性、腐蝕性、揮發性及低熔點等之試件。


 

(1) SEM 拍照底片每捲700元。

(2)操作每一單元三小時,收燈絲維護費3000元。

(3) EDS 元素分析每次收費200元。

(4)真空蒸鍍金膜一次收費400元。

(5)真空蒸鍍碳膜一件收費400元。


(1)首次欲使用本儀器,請於預約前先與技術人員接洽.

(2)已完成預約之使用者,請於使用當日的二~三天前先
    行查詢儀器狀況.
(3)已完成預約,若欲取消,請於使用日的五天前上網取
    消,否則使用費需計.

 
指導教授: 劉全璞教授 (06)2757575轉62943/50941
  cpliu@mail.ncku.edu.tw
 
技 術 員: 施慧蓉小姐 (06)2757575轉31376
  z7306007@email.ncku.edu.tw

 

申請表格


儀設大樓2F 0208室