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中心簡介 |
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本中心的成立是以開發微奈米壓印蝕刻技術與微奈米元件的製作與應用為主軸，以整合跨領域學者的研究將相關創意與概念具體化，並提供學者與產業界合作管道，以達到產學互惠的目標。本中心的任務是匯集校內從事微奈米壓印技術研究的教授，並結合國科會南區微機電系統中心的資源，協助規劃執行微奈米壓印技術的研究與發展，以期提升成功大學在微奈米壓印技術的研發實力，並協助相關產業在微奈米壓印技術的研發與技術諮詢。奈米技術的進展，使得能夠在不同材料上，以奈米甚或以原子尺度之準確度製成各種奈米結構的需求日益殷切。而各式各樣的奈米製作技術也因此相繼的被積極探討與開發，奈米壓印蝕刻技術因其只要使用單次之微影步驟，即可在大面積的晶圓基板上，以單一模具重複進行相同奈米圖樣轉移與奈米結構之製作，而被視為是在已公開可用以製作各種奈米尺度極大型集成系統(ULSI systems) 技術中，具有低成本、高產出率的潛在優勢，於未來有亮麗前景的一種技術。其應用的範圍相當廣泛，包括奈米電子、光學元件、高密度儲存裝置、奈米電磁裝置、生物裝置、感測器及奈米機電元件等之製作。 |
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聯絡方式: 郭有斌 博士後研究員 |
